臺式掃描電子顯微鏡的概念是由美國FEI公司（1997年原FEI和飛利浦電子光學合并而成)提出的，并于2006年正式發布了旗下的Phenom飛納臺式掃描電鏡，而后于2009年成立Phenom-World（飛納世界）公司，專業研發并生產臺式掃描電鏡。
放大倍數：20000x；分辨率：優于30nm；燈絲：1500小時CeB6燈絲；
抽真空時間：10秒；樣品移動方式：自動馬達樣品臺；
樣品定位方式：光學和低倍電子雙重導航；
樣品導電性要求：無需噴金，直接觀測絕緣體；
臺式掃描電子顯微鏡拓展功能：3D粗糙度重建、纖維統計測量，高倍拼圖，顆粒測量系統，面掃，點掃，線掃，區域掃等；溫控樣品臺，可直接觀測液體。
PhenomProX的背散射圖像，首先從視覺上用不同的灰度呈現不同的元素，進一步利用PhenomProX的SDDX射線探測器，就能輕松確認不同灰度區域元素的名稱和含量，提供5-95號元素的點掃描，線掃描和面掃描三種分析模式。
PhenomProX的臺式掃描電子顯微鏡系統和X射線能譜儀系統使用的軟件均由Phenom-World公司編寫，用戶通過一個界面就可以操控兩項功能，圖形化的設計，使操作變得的簡單，點擊感興趣的區域，在數秒內既可以得到微觀形貌信息，同時得到該區域的表面元素分布信息。
